產品簡介
TSK621系列中量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)程(cheng)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控制器/流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳感器、層流(liu)(liu)原(yuan)件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控制器調節閥和(he)(he)放大(da)電路組成，它利用(yong)流(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)體傳遞熱(re)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)改變測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)毛細管(guan)溫度(du)(du)分布的(de)(de)(de)熱(re)傳導分布效應(ying)而(er)制成，其原(yuan)理是采用(yong)毛細管(guan)傳熱(re)前后溫度(du)(du)差量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱(re)法原(yuan)理測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，將(jiang)傳感器測(ce)(ce)(ce)得(de)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信(xin)(xin)號(hao)(hao)進(jin)行(xing)放大(da)，然后與設(she)(she)定(ding)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)進(jin)行(xing)比(bi)較，用(yong)所得(de)的(de)(de)(de)差值去(qu)驅動(dong)控制調節閥門，閉環控制流(liu)(liu)過通道的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之與設(she)(she)定(ding)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等。用(yong)以準確可靠的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控制氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控制精度(du)(du)高(gao)、零(ling)飄小(xiao)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控制范圍寬，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控制的(de)(de)(de)準確度(du)(du)不受環境(jing)溫度(du)(du)和(he)(he)外界壓(ya)力的(de)(de)(de)影(ying)響，廣泛的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)于真空鍍膜設(she)(she)備(bei)、半導體工藝設(she)(she)備(bei)、化學化工實驗設(she)(she)備(bei)、分析(xi)儀器、冶(ye)金材料(liao)工程(cheng)、能(neng)源動(dong)力等各(ge)領域。
技術特點
1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直(zhi)接與上位機連接，實現(xian)組網，便于操作。