產品簡介
TSK621系列中量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)程流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器/流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感器、層流(liu)原件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器調(diao)節閥和放大(da)電(dian)路組成，它利用流(liu)動的(de)(de)流(liu)體傳(chuan)(chuan)遞熱(re)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)改變測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)毛細管溫度(du)分(fen)布的(de)(de)熱(re)傳(chuan)(chuan)導分(fen)布效應(ying)而制(zhi)成，其原理是采用毛細管傳(chuan)(chuan)熱(re)前(qian)后(hou)溫度(du)差(cha)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱(re)法原理測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體的(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，將(jiang)傳(chuan)(chuan)感器測(ce)(ce)得的(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信號進行(xing)放大(da)，然后(hou)與設(she)(she)定的(de)(de)信號進行(xing)比較，用所得的(de)(de)差(cha)值去驅動控(kong)(kong)(kong)制(zhi)調(diao)節閥門，閉環(huan)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)流(liu)過通道(dao)的(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之(zhi)與設(she)(she)定的(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等(deng)。用以準確(que)可靠的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)制(zhi)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)制(zhi)精(jing)度(du)高(gao)、零飄小(xiao)，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)制(zhi)范圍寬，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)制(zhi)的(de)(de)準確(que)度(du)不(bu)受環(huan)境溫度(du)和外界壓力(li)的(de)(de)影響，廣泛的(de)(de)應(ying)用于真空鍍膜設(she)(she)備、半導體工藝設(she)(she)備、化學化工實驗設(she)(she)備、分(fen)析儀器、冶(ye)金(jin)材料工程、能源(yuan)動力(li)等(deng)各領域。
技術特點
1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與上位機連接，實現(xian)組網(wang)，便于(yu)操作。