產品簡介

TSK621系列(lie)微小型流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)氣(qi)體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計由(you)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)感(gan)(gan)器、層流(liu)(liu)(liu)原件、質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器調(diao)節(jie)閥(fa)和放大電路組成(cheng)，它利(li)用流(liu)(liu)(liu)動的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)體(ti)傳(chuan)遞熱(re)量(liang)(liang)改變測(ce)量(liang)(liang)毛細管溫度(du)分布的(de)(de)熱(re)傳(chuan)導分布效(xiao)應而制(zhi)(zhi)成(cheng)，其原理(li)是采用毛細管傳(chuan)熱(re)前后溫度(du)差量(liang)(liang)熱(re)法(fa)原理(li)測(ce)量(liang)(liang)氣(qi)體(ti)的(de)(de)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，將傳(chuan)感(gan)(gan)器測(ce)得(de)的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)信(xin)號進行放大，然后與設定的(de)(de)信(xin)號進行比較，用所得(de)的(de)(de)差值去驅(qu)動控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)調(diao)節(jie)閥(fa)門，閉環控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)使之與設定的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)相等(deng)。用以準(zhun)確可(ke)靠的(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)氣(qi)體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，測(ce)量(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)精度(du)高、零飄小，測(ce)量(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)范圍寬，測(ce)量(liang)(liang)和控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)的(de)(de)準(zhun)確度(du)不受環境溫度(du)和外界壓力(li)的(de)(de)影響，廣泛的(de)(de)應用于真空鍍膜設備、半(ban)導體(ti)工(gong)藝設備、化(hua)學化(hua)工(gong)實驗設備、分析(xi)儀器、冶金(jin)材(cai)料(liao)工(gong)程、能源動力(li)等(deng)各(ge)領域。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可(ke)直接(jie)與上位機連接(jie)，實(shi)現組網，便于(yu)操作