產品簡介

TSK621系列(lie)微小型流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)氣體(ti)(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制器(qi)(qi)/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計由質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)、層流(liu)(liu)(liu)原(yuan)件、質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制器(qi)(qi)調(diao)節(jie)(jie)閥(fa)和(he)放大電路組成，它利用(yong)流(liu)(liu)(liu)動(dong)(dong)的(de)流(liu)(liu)(liu)體(ti)(ti)傳(chuan)(chuan)遞熱(re)量(liang)(liang)改變測(ce)量(liang)(liang)毛(mao)細管溫(wen)度分(fen)布的(de)熱(re)傳(chuan)(chuan)導分(fen)布效應(ying)而(er)制成，其原(yuan)理是(shi)采用(yong)毛(mao)細管傳(chuan)(chuan)熱(re)前后溫(wen)度差(cha)量(liang)(liang)熱(re)法原(yuan)理測(ce)量(liang)(liang)氣體(ti)(ti)的(de)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，將傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)測(ce)得的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)信號進行放大，然后與設(she)定(ding)的(de)信號進行比(bi)較(jiao)，用(yong)所得的(de)差(cha)值去驅動(dong)(dong)控(kong)制調(diao)節(jie)(jie)閥(fa)門，閉環控(kong)制流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)使之(zhi)與設(she)定(ding)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)相等。用(yong)以準確可靠的(de)測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制氣體(ti)(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制精度高(gao)、零飄小，測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制范圍寬，測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制的(de)準確度不受(shou)環境溫(wen)度和(he)外界壓力的(de)影(ying)響，廣(guang)泛的(de)應(ying)用(yong)于(yu)真空鍍膜設(she)備、半導體(ti)(ti)工(gong)藝設(she)備、化學化工(gong)實驗設(she)備、分(fen)析(xi)儀器(qi)(qi)、冶(ye)金材(cai)料工(gong)程、能源動(dong)(dong)力等各領域。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可(ke)直接與上位機連接，實現組(zu)網，便于操作(zuo)