產品簡介
T S K 6 2 1 系列超(chao)大量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)程流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控制器/ 流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)感器、層流(liu)(liu)原件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控制器調(diao)節閥(fa)和(he)放大電路(lu)組成(cheng)(cheng), 它利(li)用流(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)體傳(chuan)遞熱(re)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)改變測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)毛(mao)細(xi)管(guan)(guan)溫度(du)(du)分布的(de)(de)(de)(de)熱(re)傳(chuan)導分布效應而制成(cheng)(cheng), 其原理(li)是采用毛(mao)細(xi)管(guan)(guan)傳(chuan)熱(re)前后(hou)溫度(du)(du)差量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱(re)法原理(li)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體的(de)(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang), 將傳(chuan)感器測(ce)得的(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信號進(jin)(jin)行(xing)放大, 然(ran)后(hou)與(yu)設(she)(she)定的(de)(de)(de)(de)電壓進(jin)(jin)行(xing)比較, 用所得的(de)(de)(de)(de)差值去驅動(dong)控制調(diao)節閥(fa)門, 閉環控制流(liu)(liu)過(guo)通道的(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之與(yu)設(she)(she)定的(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等。用以(yi)準確(que)可靠的(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控制氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang), 測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控制精度(du)(du)高(gao)、零飄小, 測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控制范圍(wei)寬, 測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控制的(de)(de)(de)(de)準確(que)度(du)(du)不受環境(jing)溫度(du)(du)和(he)外(wai)界壓力的(de)(de)(de)(de)影響, 廣泛(fan)的(de)(de)(de)(de)應用于真空鍍膜設(she)(she)備、半導體工藝設(she)(she)備、化(hua)學化(hua)工實驗設(she)(she)備、分析儀器、冶金(jin)材料工程、能源動(dong)力等各領域。
技術特點
1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達3000ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊,操作簡單。
7、可直接與上位機(ji)連接,實現組(zu)網、便(bian)于操(cao)作。