產品簡介

TSK521質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣(qi)體(ti)的質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)進行精密(mi)測(ce)(ce)量(liang)(liang)和(he)控制。TSK521系列(lie)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制器/流(liu)量(liang)(liang)計(以(yi)下(xia)稱(cheng)MFC/MFM)通(tong)過測(ce)(ce)量(liang)(liang)層流(liu)元件的差(cha)壓、壓力、溫(wen)度(du)來計算流(liu)量(liang)(liang)，這種(zhong)測(ce)(ce)量(liang)(liang)方式具有(you)固有(you)的線性(xing),重(zhong)復性(xing)好,高精度(du),無需預(yu)熱,溫(wen)漂小等特點。本產(chan)品可以(yi)同(tong)時(shi)測(ce)(ce)量(liang)(liang)4種(zhong)參(can)數(shu)：氣(qi)體(ti)的瞬(shun)時(shi)流(liu)量(liang)(liang)、累計流(liu)量(liang)(liang)、溫(wen)度(du)和(he)絕壓，并且可以(yi)同(tong)時(shi)顯示和(he)輸出(chu)。廣泛應用于半導體(ti)制造(zao)、真空鍍(du)膜(mo)、分析、化工、環境等 行業的氣(qi)流(liu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)與控制。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min（N2當量）或20kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與(yu)上位(wei)機連接，實現組網，便于操作。