產品簡介

TSK521質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器 (Mass Flow Controller 縮寫為(wei) MFC) 用于(yu)對氣體(ti)(ti)的質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)進行精密測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)制。TSK521系列氣體(ti)(ti)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)(以(yi)下(xia)稱MFC/MFM)通過測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)層流(liu)(liu)(liu)元件的差壓(ya)、壓(ya)力、溫(wen)度(du)來(lai)計(ji)算流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，這種測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方式具有(you)固有(you)的線(xian)性,重復性好,高精度(du),無需預熱,溫(wen)漂小等(deng)特點。本產(chan)品可以(yi)同時測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)4種參數：氣體(ti)(ti)的瞬時流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)、累計(ji)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)、溫(wen)度(du)和絕壓(ya)，并且可以(yi)同時顯示和輸出(chu)。廣(guang)泛應用于(yu)半導(dao)體(ti)(ti)制造、真空鍍膜、分析(xi)、化(hua)工、環境(jing)等(deng) 行業的氣流(liu)(liu)(liu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)與(yu)控(kong)制。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min（N2當量）或20kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與(yu)上位機(ji)連接，實(shi)現組(zu)網，便于操作(zuo)。