產品簡介

TSK521質量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)器 (Mass Flow Controller 縮寫(xie)為 MFC) 用(yong)于對(dui)氣(qi)(qi)體(ti)的(de)質量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)進行精(jing)密(mi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控(kong)制(zhi)(zhi)。TSK521系列(lie)氣(qi)(qi)體(ti)質量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)器/流(liu)量(liang)(liang)(liang)計(ji)(以下稱(cheng)MFC/MFM)通過(guo)測(ce)量(liang)(liang)(liang)層流(liu)元件(jian)的(de)差壓(ya)、壓(ya)力、溫(wen)度來計(ji)算(suan)流(liu)量(liang)(liang)(liang)，這(zhe)種測(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)式具有固有的(de)線性(xing),重復性(xing)好,高(gao)精(jing)度,無需(xu)預熱,溫(wen)漂小等(deng)特點(dian)。本(ben)產品可以同(tong)時(shi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)4種參(can)數：氣(qi)(qi)體(ti)的(de)瞬(shun)時(shi)流(liu)量(liang)(liang)(liang)、累計(ji)流(liu)量(liang)(liang)(liang)、溫(wen)度和(he)(he)絕壓(ya)，并(bing)且可以同(tong)時(shi)顯示和(he)(he)輸出。廣(guang)泛應用(yong)于半(ban)導體(ti)制(zhi)(zhi)造、真空鍍膜、分析(xi)、化工(gong)、環境等(deng) 行業的(de)氣(qi)(qi)流(liu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)與控(kong)制(zhi)(zhi)。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min（N2當量）或20kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與上(shang)位機連接，實現(xian)組網，便于操作。