產品簡介

TSK521質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制(zhi)器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用(yong)于對氣(qi)體(ti)的質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)進(jin)行精密測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控制(zhi)。TSK521系(xi)列(lie)氣(qi)體(ti)質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制(zhi)器/流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)(以下稱MFC/MFM)通過測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)層(ceng)流(liu)(liu)元件的差(cha)壓、壓力、溫(wen)(wen)度來計(ji)算流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，這種測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方式(shi)具有固有的線性(xing),重(zhong)復性(xing)好,高(gao)精度,無需預(yu)熱,溫(wen)(wen)漂(piao)小等特點。本產(chan)品可以同時(shi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)4種參數：氣(qi)體(ti)的瞬(shun)時(shi)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)、累(lei)計(ji)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)、溫(wen)(wen)度和(he)絕壓，并且可以同時(shi)顯示和(he)輸出。廣(guang)泛應用(yong)于半導體(ti)制(zhi)造、真空鍍(du)膜、分(fen)析、化工、環境等 行業的氣(qi)流(liu)(liu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)與控制(zhi)。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min（N2當量）或2kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與上位機(ji)連接，實現組網，便于操作。