產品簡介

TSK521質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)器 (Mass Flow Controller 縮(suo)寫為 MFC) 用于(yu)(yu)對氣體的(de)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)進(jin)行精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)和(he)(he)控(kong)制(zhi)(zhi)。TSK521系列氣體質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)器/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)(以(yi)(yi)下稱(cheng)MFC/MFM)通過測(ce)量(liang)(liang)層流(liu)(liu)(liu)元件(jian)的(de)差(cha)壓(ya)(ya)、壓(ya)(ya)力、溫(wen)度來計(ji)(ji)算流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，這種測(ce)量(liang)(liang)方式具有固有的(de)線性(xing),重復性(xing)好,高精(jing)度,無需預熱,溫(wen)漂小等特點。本產品(pin)可(ke)以(yi)(yi)同時測(ce)量(liang)(liang)4種參數：氣體的(de)瞬(shun)時流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)、累計(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)、溫(wen)度和(he)(he)絕壓(ya)(ya)，并且可(ke)以(yi)(yi)同時顯示和(he)(he)輸(shu)出。廣泛應用于(yu)(yu)半(ban)導體制(zhi)(zhi)造(zao)、真空鍍膜、分(fen)析、化(hua)工、環境(jing)等 行業(ye)的(de)氣流(liu)(liu)(liu)測(ce)量(liang)(liang)與(yu)控(kong)制(zhi)(zhi)。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min（N2當量）或2kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直(zhi)接(jie)與上位機(ji)連接(jie)，實現組網，便于操作(zuo)。