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北京杰瑞晟欣科技有限公司
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液體小量程質量流量控制器

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產品描述
技術參數
技術選型

產品簡介

TSK521質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用(yong)于對氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)進行精(jing)密測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)制。TSK521系列氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)(以(yi)下稱MFC/MFM)通過測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)層流(liu)(liu)(liu)元(yuan)件的(de)差壓、壓力(li)、溫(wen)度(du)來計(ji)算(suan)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang),這種(zhong)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方式具有(you)固有(you)的(de)線性,重復性好,高精(jing)度(du),無需預熱(re),溫(wen)漂小等(deng)特點。本產(chan)品可(ke)(ke)以(yi)同(tong)時(shi)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)4種(zhong)參(can)數:氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)瞬時(shi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)、累計(ji)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)、溫(wen)度(du)和絕壓,并(bing)且(qie)可(ke)(ke)以(yi)同(tong)時(shi)顯示(shi)和輸(shu)出(chu)。廣泛應用(yong)于半(ban)導體(ti)(ti)制造、真空鍍膜、分(fen)析、化工、環境等(deng) 行業的(de)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)與(yu)控(kong)制。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達30ln/min(N2當量)或2kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊,操作簡單。
7、可直接與上位機連接,實(shi)現組(zu)網,便于操作。

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

技術參數

量 程:0…3 0ln/min (N2當量)
0...2kg/m in (H2O當量)
準 確 度:±1.0%F.S
量 程 比:50:1
重復精度:±0.2%F.S
線性精度:±0.5%F.S
響應時間:1…4sec
穩 定 性:±0.1%F.S
環境溫度:5…45℃
溫度系數:<±0.1%F.S/℃
泄 漏 率:<2×10 -8atm.ml/s(He)
預熱時間:15min
供 電:+15 …24vdc
模擬信號:0…5vdc或4…20mA
數字信號:RS232 RS485(Modbu s-RTU) 液晶顯示
本體材質:SS316不銹鋼
最大耐壓:30bar
連(lian)(lian)接(jie)(jie)(jie)方式:卡套式連(lian)(lian)接(jie)(jie)(jie)(可選(xuan)螺紋連(lian)(lian)接(jie)(jie)(jie) 面密封VC R或(huo)其他(ta)連(lian)(lian)接(jie)(jie)(jie)方式)

技術選型

序 列 號: TSK521
產品類型: 【C】質量流量控制器
耐壓等級: 【L】低耐壓 30bar
介質類型: 由廠家選擇
流量范圍: 【005g】5g/min 【010g】10g/min 【100g】100g/min
                  【500g】500g/min 【001k】1kg/min 【2kg 】2kg/min
被測介質: 由廠家選擇
供電類型: 【S】24vdc 
模擬信號: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
數字信號: 【X】本地顯示  【R】RS232  【M】RS485(Modbus-RTU)
密封材質: 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他
接(jie)頭尺(chi)寸: 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8&rdquo; 【H】1/4” 【Y】其他(ta)

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地      &nbsp;址:北京市朝陽區望京東路8號銳創國際(ji)中心B座(zuo)1119室

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