產品簡介

TSK521質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用(yong)于對氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)進行精(jing)密測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和控(kong)制。TSK521系列氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制器/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)(以(yi)下稱MFC/MFM)通過測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)層流(liu)(liu)(liu)元(yuan)件的(de)差壓、壓力(li)、溫(wen)度(du)來計(ji)算(suan)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，這種(zhong)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方式具有(you)固有(you)的(de)線性,重復性好,高精(jing)度(du),無需預熱(re),溫(wen)漂小等(deng)特點。本產(chan)品可(ke)(ke)以(yi)同(tong)時(shi)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)4種(zhong)參(can)數：氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)瞬時(shi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)、累計(ji)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)、溫(wen)度(du)和絕壓，并(bing)且(qie)可(ke)(ke)以(yi)同(tong)時(shi)顯示(shi)和輸(shu)出(chu)。廣泛應用(yong)于半(ban)導體(ti)(ti)制造、真空鍍膜、分(fen)析、化工、環境等(deng) 行業的(de)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)與(yu)控(kong)制。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min（N2當量）或2kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與上位機連接，實(shi)現組(zu)網，便于操作。