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北京杰瑞晟欣科技有限公司
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模擬型中量程氣體質量流量控制器

零售價
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市場價
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產品描述
技術參數
技術選型

產品介紹

TSK621系列中量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)程(cheng)(cheng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)器/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感器、層流(liu)(liu)(liu)原件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)器調(diao)節(jie)(jie)閥和(he)放大電(dian)路組成,它利(li)用(yong)流(liu)(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)體(ti)傳(chuan)(chuan)遞熱量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)改變測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)毛(mao)細(xi)管溫度(du)(du)分(fen)布的(de)(de)熱傳(chuan)(chuan)導分(fen)布效應而制(zhi)(zhi)成,其原理(li)是采用(yong)毛(mao)細(xi)管傳(chuan)(chuan)熱前后溫度(du)(du)差(cha)(cha)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱法原理(li)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體(ti)的(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang),將(jiang)傳(chuan)(chuan)感器測(ce)(ce)得的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信(xin)號(hao)進(jin)行放大,然后與(yu)設(she)定的(de)(de)信(xin)號(hao)進(jin)行比較(jiao),用(yong)所得的(de)(de)差(cha)(cha)值(zhi)去驅動(dong)控(kong)制(zhi)(zhi)調(diao)節(jie)(jie)閥門,閉環控(kong)制(zhi)(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之與(yu)設(she)定的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等。用(yong)以準確(que)可靠的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang),測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)精度(du)(du)高、零(ling)飄小,測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)范圍寬,測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)的(de)(de)準確(que)度(du)(du)不受環境溫度(du)(du)和(he)外界壓力(li)的(de)(de)影響,廣泛的(de)(de)應用(yong)于真(zhen)空(kong)鍍膜設(she)備、半導體(ti)工藝設(she)備、化學化工實驗設(she)備、分(fen)析(xi)儀器、冶(ye)金材料工程(cheng)(cheng)、能源動(dong)力(li)等各領域。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進(jin)行通訊(xun),操作簡單。

 

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

技術參數

量 程:30…300ln/min (N2當量)
準 確 度:±1.0%F.S
量 程 比:50:1
重復精度:±0.2%F.S
線性精度:±0.5%F.S
響應時間:1…4sec
穩 定 性:±0.1%F.S
環境溫度:5…45℃
溫度系數:<±0.1%F.S/℃
泄 漏 率:<2×10 -8atm.ml/s(He)
預熱時間:15min
供 電:+15 …24vdc
模擬信號:0…5vdc或4…20mA
本體材質:SS316不銹鋼
最大耐壓:30bar
連接方式:卡套式連接(可選螺紋連接 面密封VC R或其他連接方式)
密封(feng)材質:氟(fu)(fu)橡膠(jiao) 丁晴橡膠(jiao) 全(quan)氟(fu)(fu)橡膠(jiao)(特殊可根據(ju)客(ke)戶(hu)要求定制(zhi))

技術選型

序 列 號: TSK621
產品類型: 【C】質量流量控制器
耐壓等級: 【L】低耐壓 30bar
介質類型: 由廠家選擇
流量范圍: 【030L】30ln/min 【050L】50ln/min 【100L】100ln/min 【150L】150ln/min

                  【200L】200ln/min 【250L 】250ln/min   【300L】300ln/min
被測介質: 由廠家選擇
供電類型: 【S】24vdc 【D】+15…24vdc
模擬信號: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
密封材質: 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他
接頭(tou)尺寸: 【C】φ8 【D】φ10 【E】φ12 【I】3/8&rdquo; 【J】1/2” 【Y】其他

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