1/1
瀏覽量:
1000
TSK621系列氣體質量流量控制器
零售價
0.0
元
市場價
0.0
元
瀏覽量:
1000
產品編號
數量
-
+
庫存:
99
1
產品描述
技術參數
技術選型
TSK621系列微小(xiao)型(xing)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)/流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳感器(qi)、層流(liu)(liu)(liu)(liu)原件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)調節(jie)閥和(he)放大電路組(zu)成，它利用流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)的(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)體(ti)傳遞(di)熱量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)改變(bian)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)毛(mao)細管溫(wen)度(du)分(fen)布(bu)的(de)熱傳導分(fen)布(bu)效(xiao)應(ying)(ying)而(er)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)成，其原理(li)(li)是采用毛(mao)細管傳熱前后溫(wen)度(du)差量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱法(fa)原理(li)(li)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體(ti)的(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，將傳感器(qi)測(ce)得(de)的(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信(xin)號進行(xing)放大，然后與設定(ding)的(de)信(xin)號進行(xing)比較，用所(suo)得(de)的(de)差值去驅動(dong)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)調節(jie)閥門，閉(bi)環控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)流(liu)(liu)(liu)(liu)過通道的(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之與設定(ding)的(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等(deng)。用以準確(que)可靠的(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)精度(du)高、零(ling)飄(piao)小(xiao)，測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)范圍寬，測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)的(de)準確(que)度(du)不受環境溫(wen)度(du)和(he)外界壓力的(de)影響(xiang)，廣泛的(de)應(ying)(ying)用于真空鍍膜設備、半導體(ti)工(gong)藝設備、化學化工(gong)實驗設備、分(fen)析儀(yi)器(qi)、冶金材料工(gong)程、能源動(dong)力等(deng)各領域。
上一個
無
下一個
無