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北京杰瑞晟欣科技有限公司
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本地顯示小量程氣體質量流量控制器

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產品描述
技術參數
技術選型

產品簡介

TSK521系(xi)列小量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)程(cheng)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器(qi)/流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計由(you)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳感器(qi)、層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)原(yuan)件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)器(qi)調(diao)(diao)節閥和(he)放(fang)大電路組成(cheng),它利用流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)的流(liu)(liu)(liu)(liu)體傳遞(di)熱(re)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)改(gai)變測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)毛細管溫度(du)(du)分(fen)布的熱(re)傳導分(fen)布效應而制(zhi)成(cheng),其原(yuan)理(li)是采用毛細管傳熱(re)前后溫度(du)(du)差量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱(re)法原(yuan)理(li)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體的質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang),將傳感器(qi)測(ce)(ce)得(de)的流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信號進行放(fang)大,然后與設(she)定的信號進行比較(jiao),用所得(de)的差值去(qu)驅動(dong)控(kong)(kong)制(zhi)調(diao)(diao)節閥門,閉環控(kong)(kong)制(zhi)流(liu)(liu)(liu)(liu)過通(tong)道的流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之與設(she)定的流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等(deng)。用以(yi)準確(que)可靠(kao)的測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang),測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)精(jing)度(du)(du)高、零飄小,測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)范圍寬,測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)的準確(que)度(du)(du)不受環境溫度(du)(du)和(he)外界壓力(li)的影響,廣泛(fan)的應用于真空鍍膜設(she)備(bei)、半導體工藝設(she)備(bei)、化學化工實驗設(she)備(bei)、分(fen)析(xi)儀器(qi)、冶金材料工程(cheng)、能源動(dong)力(li)等(deng)各領域。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達30ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊,操作簡單。
7、可直接與上位機連接,實現組(zu)網(wang),便于操作。

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

技術參數

量 程: 5…500mln/min 1…30ln/min
準 確 度:±1.0%F.S
量 程 比:流量控制器:50:1 流量計:100:1
重復精度:±0.2%F.S
線性精度:±0.5%F.S
響應時間:1…4sec
穩 定 性:±0.1%F.S
環境溫度:5…45℃
溫度系數:<±0.1%F.S/℃
泄 漏 率:<2×10-8atm.ml/s(He)
預熱時間:15min
供 電:24vdc
模擬信號:0…5vdc或4…20mA
數字信號:液晶顯示 RS232 RS485(Modbus-RTU)
本體材質:SS316不銹鋼
最大耐壓:30bar(可選60bar)
連接方式:卡套式連接(可選螺紋連接 面密封VCR或其他連接方式)
密(mi)封(feng)材(cai)質:氟(fu)橡膠 丁(ding)晴橡膠 全氟(fu)橡膠(特(te)殊可根據客戶(hu)要(yao)求定制)

技術選型

序 列 號: TSK521
產品類型: 【C】質量流量控制器 【M】質量流量計
耐壓等級: 【L】低耐壓 30bar 【H】高耐壓 60bar
介質類型: 由廠家選擇
流量范圍: 【010C】10mln/min 【020C】20mln/min 【030C】30mln/min
                  【050C】50mln/min 【100C】100mln/min 【200C】200mln/min
                  【300C】300mln/min 【500C】500mln/min 【001L】1ln/min
                  【002L】2ln/min 【003L】3ln/min 【005L】5ln/min
                  【010L】 10ln/min 【020L】20ln/min 【030L】30ln/min
供電類型: 【S】24vdc 【D】+15…24vdc
模 擬 信 號: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
數字信號: 【R】RS232 【M】RS485(Modbus-RTU)
密封(feng)材質: 【V】氟橡膠(jiao) 【T】EPDM 【N】氯(lv)丁橡膠(jiao) 【B】丁晴橡膠(jiao) 【Y】其他                              &nbsp;     接頭尺寸: 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他 

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