產品簡介
TSK621系列中量(liang)(liang)(liang)程流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制器(qi)/流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)計由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)、層(ceng)流(liu)(liu)(liu)(liu)原(yuan)件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制器(qi)調(diao)節(jie)閥(fa)和(he)(he)放(fang)大電路(lu)組成,它利用流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)(dong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)體傳(chuan)(chuan)遞熱量(liang)(liang)(liang)改變測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)毛細管溫度分布(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱傳(chuan)(chuan)導分布(bu)效應而制成,其原(yuan)理(li)是采用毛細管傳(chuan)(chuan)熱前后(hou)溫度差量(liang)(liang)(liang)熱法(fa)原(yuan)理(li)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)氣(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang),將(jiang)傳(chuan)(chuan)感器(qi)測(ce)(ce)(ce)(ce)得的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)信(xin)號進行放(fang)大,然后(hou)與設(she)定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號進行比較,用所得的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差值(zhi)去(qu)驅動(dong)(dong)控(kong)(kong)制調(diao)節(jie)閥(fa)門(men),閉環(huan)控(kong)(kong)制流(liu)(liu)(liu)(liu)過通道的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)使之與設(she)定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)相等。用以準確可靠的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控(kong)(kong)制氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang),測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控(kong)(kong)制精度高、零飄小,測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控(kong)(kong)制范圍寬,測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)控(kong)(kong)制的(de)(de)(de)(de)(de)(de)準確度不(bu)受環(huan)境(jing)溫度和(he)(he)外界壓力的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影響,廣泛的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應用于真(zhen)空鍍(du)膜設(she)備(bei)、半導體工藝設(she)備(bei)、化學化工實驗設(she)備(bei)、分析儀器(qi)、冶金(jin)材料工程、能源動(dong)(dong)力等各領域。
技術特點
1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表(biao)或(huo)者PLC與(yu)儀表(biao)進行通訊(xun),操作簡單。