產品簡介

TSK621系(xi)列中量(liang)(liang)(liang)(liang)程(cheng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)、層流(liu)(liu)(liu)原件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)調節閥和(he)放(fang)大(da)電路組成，它利用流(liu)(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)體傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)遞熱量(liang)(liang)(liang)(liang)改變測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)毛細(xi)(xi)管(guan)溫(wen)(wen)度(du)分(fen)布的(de)(de)(de)熱傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)導分(fen)布效(xiao)應(ying)而制(zhi)成，其原理(li)是采用毛細(xi)(xi)管(guan)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)熱前后溫(wen)(wen)度(du)差量(liang)(liang)(liang)(liang)熱法原理(li)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，將傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)測(ce)(ce)(ce)得的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)信號進行放(fang)大(da)，然后與(yu)設(she)(she)(she)定的(de)(de)(de)信號進行比(bi)較，用所得的(de)(de)(de)差值去驅動(dong)控(kong)制(zhi)調節閥門，閉環控(kong)制(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)使之與(yu)設(she)(she)(she)定的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)相等。用以(yi)準確(que)可靠的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)精度(du)高、零(ling)飄小，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)范圍寬，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)的(de)(de)(de)準確(que)度(du)不受環境溫(wen)(wen)度(du)和(he)外界壓力(li)的(de)(de)(de)影響，廣(guang)泛的(de)(de)(de)應(ying)用于真空鍍膜設(she)(she)(she)備、半導體工藝設(she)(she)(she)備、化學(xue)化工實驗設(she)(she)(she)備、分(fen)析儀器(qi)、冶金(jin)材(cai)料(liao)工程(cheng)、能(neng)源動(dong)力(li)等各領域(yu)。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過(guo)二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。