產品簡介
TSK621系列中量(liang)(liang)(liang)(liang)程(cheng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)傳感器(qi)、層流(liu)(liu)(liu)原(yuan)件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)調(diao)節閥(fa)和(he)放(fang)大電路組成，它利用(yong)(yong)(yong)流(liu)(liu)(liu)動的(de)流(liu)(liu)(liu)體傳遞熱(re)量(liang)(liang)(liang)(liang)改變測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)毛細管溫(wen)度分布的(de)熱(re)傳導分布效應而(er)制(zhi)成，其原(yuan)理是采用(yong)(yong)(yong)毛細管傳熱(re)前(qian)后溫(wen)度差(cha)量(liang)(liang)(liang)(liang)熱(re)法原(yuan)理測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體的(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，將傳感器(qi)測(ce)(ce)(ce)得的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)信號(hao)進行放(fang)大，然后與設定的(de)信號(hao)進行比較，用(yong)(yong)(yong)所得的(de)差(cha)值去驅動控(kong)制(zhi)調(diao)節閥(fa)門，閉環控(kong)制(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)使之(zhi)與設定的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)相等。用(yong)(yong)(yong)以(yi)準確(que)可靠的(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)氣體質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)精(jing)度高、零飄小，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)范(fan)圍寬(kuan)，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)的(de)準確(que)度不受環境溫(wen)度和(he)外界壓力(li)的(de)影響，廣泛的(de)應用(yong)(yong)(yong)于真空鍍膜設備(bei)(bei)、半(ban)導體工(gong)(gong)藝(yi)設備(bei)(bei)、化(hua)學化(hua)工(gong)(gong)實(shi)驗設備(bei)(bei)、分析儀器(qi)、冶金材料工(gong)(gong)程(cheng)、能源動力(li)等各領域。
技術特點
1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接(jie)(jie)與(yu)上位機連接(jie)(jie)，實現(xian)組網，便于(yu)操作。