產品簡介

TSK621系列中量(liang)(liang)(liang)(liang)程流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)/流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)由質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)感器(qi)、層流(liu)(liu)(liu)原件、質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)調節(jie)閥和(he)放大(da)(da)電路組成(cheng)(cheng)，它利用(yong)流(liu)(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)體(ti)傳(chuan)遞(di)熱量(liang)(liang)(liang)(liang)改(gai)變測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)毛(mao)細管溫度(du)(du)分(fen)布的(de)(de)(de)熱傳(chuan)導(dao)分(fen)布效應而制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)，其原理(li)是采(cai)用(yong)毛(mao)細管傳(chuan)熱前后溫度(du)(du)差(cha)量(liang)(liang)(liang)(liang)熱法原理(li)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣體(ti)的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，將傳(chuan)感器(qi)測(ce)(ce)得(de)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)信號進(jin)行放大(da)(da)，然后與設(she)(she)定的(de)(de)(de)信號進(jin)行比較，用(yong)所得(de)的(de)(de)(de)差(cha)值去驅動(dong)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)調節(jie)閥門，閉環控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通道的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)使之與設(she)(she)定的(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)相等。用(yong)以準確(que)可靠(kao)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)氣體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)精度(du)(du)高、零飄小，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)范(fan)圍寬，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)準確(que)度(du)(du)不受(shou)環境溫度(du)(du)和(he)外(wai)界壓力的(de)(de)(de)影響，廣泛(fan)的(de)(de)(de)應用(yong)于真空鍍膜設(she)(she)備(bei)、半導(dao)體(ti)工(gong)藝(yi)設(she)(she)備(bei)、化學化工(gong)實驗設(she)(she)備(bei)、分(fen)析儀器(qi)、冶(ye)金(jin)材料(liao)工(gong)程、能(neng)源動(dong)力等各領(ling)域。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接(jie)與上位機(ji)連接(jie)，實現組網，便(bian)于(yu)操作(zuo)。